Khi Phật giáo truyền qua Trung Hoa tới thời nhà Tấn, Ngài Đạo An xướng xuất việc lấy họ Thích làm họ cho người đi xuất gia, rồi từ sự kiện, chính Ngài theo phong tục cổ truyền, trước đó theo học với Ngài Trúc Phật Đồ Trừng ngài Đạo-An lấy luôn tên là Trúc Đạo An và sau vì lấy cớ những người đi xuất gia đều lấy đấng Thích Tôn làm gốc, vì thế Ngài đổi tên là Thích-Đạo-An cho đến sau nữa Ngài Thích Tuệ Viễn nối nghiệp thầy mà cũng xưng là Thích Tuệ Viễn.  Kịp đến thời nhà Đường, Ngài Tu Năng khi dâng sớ lên Vua Đường Cao Tôn để xin cáo từ việc cớ già yếu hay bệnh cũng xưng là Thích Ca Tuệ Năng. Sau đó Phật Giáo truyền qua Việt Nam thông qua đường Trung Hoa (Bắc Tông) nên Việt Nam cũng học theo.

Theo sự dịnh nghĩa danh tự thông thường thì chữ Thích có nghĩa: cởi ra, nới ra, giải thích rõ ràng nghĩa sách tỷ dụ như chữ Thích-Hỗ là giải thích cho rõ nghĩa một chữ, một câu: Thích Huấn là giải thích cho rõ những lời huấn giáo.