1. Bước giải thoát đầu tiên:
Trong tự thân đã sẵn có tâm tham ái về chính sắc thân của mình, vì muốn diệt trừ tâm tham ái ấy, hành giả quán chiếu để thấy rõ tính chất bất tịnh, vô thường của thân thể mọi người. Do sự quán chiếu này mà tâm tham ái tự thân không còn nữa.Đó là bước giải thoát đầu tiên của hành giả. (Nội hữu sắc tưởng, quán ngoại sắc giải thoát.)

2. Bước giải thoát thứ hai:
Tuy tâm tham ái tự thân đã dứt, nhưng tâm tham ái đối với cõi Dục vẫn còn nhiều, cho nên hành giả cần tiếp tục quán chiếu để thấy rõ hơn nữa tính chất vô thường, bất tịnh của vật chất (sắc thân mọi người) ở cõi Dục; từ đó diệt trừ được tâm tham ái đối với cõi Dục. Đó là bước giải thoát thứ hai của hành giả. (Nội vô sắc tưởng, quán ngoại sắc giải thoát.)

3. Bước giải thoát thứ ba:
Khi tâm tham ái đối với tự thân và vật chất cõi Dục đã không còn khởi động nữa thì cái đẹp hiển hiện. Tâm ý của hành giả bấy giờ trở nên trong sạch, sáng suốt, và tiếp tục quán chiếu để thấy rõ sự nhiệm mầu của thực tại vạn hữu; từ đó niềm an lạc phát sinh và tăng trưởng trong khắp tự thân. Hành giả hoàn toàn an trú trong cảnh giới an lạc ấy, và đạt được bước giải thoát thứ ba.(Tịnh giải thoát, thân tác chứng, cụ túc trú.)

4. Bước giải thoát thứ tư:
Với tâm ý trong sáng, không tham đắm, không vướng mắc, hành giả vượt ra khỏi phạm vi hạn hẹp của tự thân để quán chiếu tính chất vô biên của không gian và đồng nhất mình với không gian vô biên đó; đồng thời hành giả cũng thấy rõ tính cách đồng nhất giữa không gian vô biên và các vật thể. (Không vô biên xứ giải thoát.)

5. Bước giải thoát thứ năm:
Tiến thêm một bước, hành giả quán chiếu để thấy rõ rằng, cả không gian và thời gian đều dung nhiếp lẫn nhau, nương vào nhau mà tồn tại; cả hai đều không đứng độc lập với nhận thức, mà chính là những biểu tượng của nhận thức. Hành giả an trú trong chánh niệm "tâm thức bao hàm cả không thời gian”, tức là an trú trong bước giải thoát thứ năm. (Thức vô biên xứ giải thoát.)

6. Bước giải thoát thứ sáu:
Hằng ngày chúng ta nhìn thực tại bằng các khuôn khổ của tư tưởng – tức là những ý niệm đối đãi về trong - ngoài, có - không, sinh - diệt, cao - thấp, trên - dưới, lớn - nhỏ, v.v... Nhưng tự thân thực tại thì không bao giờ mang lấy những khuôn khổ như vậy. Cho nên, khi tu tập phép thiền định thứ sáu này, hành giả phải quán chiếu để thấy rõ tính chất vô tướng của thực tại vạn hữu. Với phép thiền quán này, hành giả vượt thoát được thế giới khái niệm, vất bỏ được các khuôn khổ của tư tưởng, và thực tại hiển lộ trong thật tướng như như bình đẳng của nó. Đó là bước giải thoát thứ sáu mà hành giả đạt được. (Vô sở hữu xứ giải thoát.)

7. Bước giải thoát thứ bảy:
Khi hành giả bước sang giai đoạn vất bỏ được sự phân biệt về chủ thể nhận thức và đối tượng nhận thức – tức làkhông còn thấy có một bên là chủ thể quán chiếu và một bên là đối tượng quán chiếu, thì đó là lúc hành giả đang ở trong trạng thái thiền định gọi là "không phải tư tưởng cũng không phải là không phải tư tưởng”; tức là bước giải thoát thứ bảy. (Phi tưởng phi phi tưởng xứ giải thoát.)

8. Bước giải thoát thứ tám:
Đây là bước giải thoát sau cùng, là đỉnh cao nhất của tuệ giác mà hành giả đạt được. Lúc này hành giả thật sự thấu suốt chân tướng của thực tại, giải thoát hoàn toàn khỏi mọi khái niệm (cảm thọ và tư tưởng), phá tan được lưới sinh tử, không rơi lọt lại vào vòng luân hồi. (Diệt tận giải thoát, hay Diệt thọ tưởng giải thoát.)

Sưu tầm